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Tower Lift 樓(lóu)層提升係統

設備說明
針對在半導體工程(chéng)中有層間或(huò)段差區域, 把FOUP上下運送的設(shè)備。
 
設備特點
  • 雙工位輸送係統
  • 高速輸送
  • 樓層間快速轉接
設備(bèi)參數
產品範圍(wéi) FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette
額(é)定負(fù)載 Max20Kg
運行速度 Max250m/min
輸送高度 Max40m
潔淨環境 Class 100 - Class 1000

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