無人搬送車可通(tōng)過高(gāo)度精確(què)的導(dǎo)航(háng)係統在複雜的路線上靈活運動,將載體(tǐ)運往工藝設備。設備上裝配有多關節的機械臂,能夠在地麵上行駛,可“直接”進入保管設備(bèi)及工(gōng)藝設備(bèi)。
產品範圍 | FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette |
額定負載 | Max20Kg |
貨倉數量 | 4、8pcs,可定製 |
運(yùn)行速度 | Max60m/min |
裝載時間 | 25-30sec |
潔淨環境 | Class 100 - Class 1000 |