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STK Foup存儲係統

設備說明
FOUP Stocker 是(shì)半導(dǎo)體(tǐ)工(gōng)廠的自(zì)動保管倉庫,具(jù)備多層存放空間,主要用(yòng)於(yú)半導體工廠的 FOUP 自動化搬送、存 儲,實現晶圓在工藝之間的(de)流轉。
設備特(tè)點
  • 高密度存儲管理
  • 小白點(diǎn)自學習型取放控製
  • 結構(gòu)緊(jǐn)湊,輕量化設計
設備(bèi)參數
產品範圍 FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette
額定負載 Max20Kg
運(yùn)動控(kòng)製 X軸、Z軸、R軸、貨叉伸縮軸(zhóu)
運動速度 X軸 120m/min,Z軸120m/min
貨叉周(zhōu)期 2sec
潔淨環境 Class 100 - Class 1000

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