FOUP Stocker 是(shì)半導(dǎo)體(tǐ)工(gōng)廠的自(zì)動保管倉庫,具(jù)備多層存放空間,主要用(yòng)於(yú)半導體工廠的 FOUP 自動化搬送、存 儲,實現晶圓在工藝之間的(de)流轉。
產品範圍 | FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette |
額定負載 | Max20Kg |
運(yùn)動控(kòng)製 | X軸、Z軸、R軸、貨叉伸縮軸(zhóu) |
運動速度 | X軸 120m/min,Z軸120m/min |
貨叉周(zhōu)期 | 2sec |
潔淨環境 | Class 100 - Class 1000 |