OHT 空中搬送係統

設（shè）備說明

OHT(空中走行式搬運車)是（shì）指能夠（gòu）在空中（zhōng）軌道上行（háng）駛，並能夠通（tōng）過皮帶傳動起重機（jī）構“直（zhí）接”進（jìn）入保管設備或工藝設備的裝卸口，應用於工序區內部運輸，主要（yào）搬（bān）運晶圓（yuán），也應用於工序區（qū）間或工廠間運輸。

設備特點

定製化空中軌道，轉彎（wān）半徑小
雙軌行走設（shè）計
結構緊湊，輕量化設計（jì）

設（shè）備參數

產（chǎn）品範圍	FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette
額定負（fù）載	Max20Kg
運行速度	直線段 3.5m/sec, 轉彎段 0.7m/sec
提升速度	0.9m/sec
轉彎半徑	R500mm (45˚, 90 ˚)
潔淨環境	Class 100 - Class 1000